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第135章 诸君,且听龙吟!

第135章 诸君,且听龙吟! (第2/2页)

思路,想法,知识储备完全就是吊打他们。
  
  如今,38nm浸没式光刻机已经安装完成——
  
  由崇明科技自主研发组装;
  
  此刻,中央派来的观察组已就位:
  
  国家02专项总指挥
  
  科技部副部长;
  
  军委装备发展部代表;
  
  中科院院长亲自坐镇。
  
  所有人都屏住呼吸。
  
  赵崇明站在控制台前,一身深色西装,神情沉静。
  
  他看了眼林振邦老人颤抖的手,轻声问:“林老,可以开始了吗?”
  
  林振邦深深吸了一口气,眼中泛着泪光,却用力点头:“开……开机!”
  
  赵崇明转身,按下红色启动键。
  
  嗡——
  
  低沉而稳定的轰鸣声从光刻机内部传来,如同巨龙苏醒。
  
  激光源点亮,193nm深紫外光束穿过精密透镜组;
  
  超纯水浸没系统启动,液膜均匀覆盖硅片表面;
  
  纳米级工件台以0.1微米精度移动,定位误差小于3纳米。
  
  大屏幕上,实时监控画面跳动:
  
  曝光开始……
  
  套刻精度:2.8nm(目标≤4nm)
  
  线宽均匀性:±1.1nm(目标±1.5nm)
  
  良率预测:92.7%
  
  时间一分一秒过去。
  
  十分钟后,机械臂缓缓托出第一片测试晶圆。
  
  检测仪扫描完成——
  
  图形完整,线宽38.2nm,无断线、无桥接、无畸变。
  
  成功了!
  
  “成了!!”
  
  吴启明突然嘶吼一声,老泪纵横,一把抱住身边的周秉义。
  
  整个大厅瞬间沸腾!
  
  科研人员相拥而泣,年轻的工程师跪在地上,双手捂脸,肩膀剧烈抽动。
  
  军方代表摘下眼镜,悄悄擦拭眼角。
  
  科技部副部长快步上前,紧紧握住赵崇明的手,声音哽咽:“小赵……你……你们给国家,争了一口气啊!”
  
  赵崇明客气的开口道:“领导,您说笑了,这哪里是我一个人的功劳,这是大家集体的努力,不然,是没有这么容易的!”
  
  而林振邦没有动。
  
  他颤巍巍地走到晶圆前,伸出枯瘦的手,轻轻抚摸那冰冷的硅片表面,仿佛在触碰一个民族百年的梦。
  
  忽然,他双膝一软,竟要跪下。
  
  赵崇明眼疾手快,一把扶住:“林老!您不能跪!该跪的是我们——是我们晚辈,让您等了太久!”
  
  林振邦抬起头,满脸泪水,嘴唇哆嗦着,终于喊出那句埋藏了一生的话:
  
  “艹……我林振邦活了八十六年,
  
  今天,
  
  终于看到——
  
  华夏自己的光刻机,
  
  刻出了自己的芯!”
  
  话音未落,老人嚎啕大哭,像一个终于等到父亲归家的孩子。
  
  全场肃立,无人言语。
  
  唯有那台光刻机,仍在低鸣,
  
  如龙吟,
  
  如钟响,
  
  如一个古老文明,在沉默百年后,
  
  第一次向世界发出自己的声音。
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